IBS Japan

概要

半導体ウエハーの製造は、フォトレジスト、薄膜、エッチング、CMPといった様々な主要なプロセスグループに分類され300以上の個々のステップを必要とする高精度のプロセスです。一般的な薄膜またはエッチング装置内には、真空ターボポンプ、RFジェネレータ、RFマッチといった多くのビルトインシリアルデバイスがありすべてが内部PCにより制御されます。薄膜およびエッチングプロセス装置を生産する日本企業は、新世代のデバイス通信ソリューションを開発するためにターミナルサーバ探していました。このソリューションでは、シリアルデバイスは、半導体工場のコントロールアイランドにあるリモートPCで制御することが可能になり、より優れた細かい精度のシリアルデバイス制御に繋がります。この新しいソリューションにより半導体メーカーは、容易にデバイスの実行パラメータをリトリーブができまた、プロセス装置へのプロセスレシピをリモートで実行します。現在、半導体製造工場の大半は、バックボーンネットワークの一部としてイーサネット通信を使用しています。この理由により会社は、シリアル - イーサネットソリューションを選択しました。

• WinCEプラットフォーム上のデバイスを管理するためのWinCEドライバ
• 実行中のパラメータをリトリーブし非常に時間にクリティカル（時間がミリ秒単位で計算される）であるプロセスのレシピを実行する極めて低いレーテンシの必要性
• 高MTBFの必要性：デバイス接続が少しでもダウンしても巨額の損失を引き起こすことからの回避

Moxaのソリューション

会社のすべての要件を満たしたことによりMoxaのNPort 6650-8ターミナルサーバが選定されました。各薄膜およびエッチングプロセス装置は、個別にプロセスを実行する2つのチャンバーが搭載されています。各チャンバーは、真空ターボポンプ、RFジェネレータおよびRFマッチが搭載されすべてRS-232C通信が使われます。プロセス装置内には、シリアルデバイスをイーサネットに接続するペアーのNPort 6650-8デバイスサーバを見ることができます。デバイスは、リモートPCから制御および監視できます。同社は、デバイスをリモートPCに接続するためにNPort 6650-8上にWinCEリアルCOMドライバを使用しています。

何故Moxaが必要？

• WinCEのためのMoxaのready-to-useリアルCOMモードによりシリアルデバイスとリモートPC間の強固な接続を確立するために時間をかけずに普通に実行できます。
• マーケットで最も低いレーテンシによりNPort 6650-8のパラメータとプロセスレシピは、プロセスのフォルトを最小にするための正確にオンタイムを保証します。
• マーケットで最高レベルのMTBFを誇るNPort 6650-8を使用することにより最小のダウンタイムが実現できアレイの生産性を最大に維持しました。