導入事例

製造業

Moxa

半導体装置におけるシームレスなリアルタイムパフォーマンスの実現

アプリケーション	産業用ネットワークプロトコル：EtherCAT
アプリケーション	半導体
カテゴリー	製造業

この導入事例に関連する製品

Moxa

シリーズ EDS-4012-4GC-LV

8＋4Gポート(オプション：802.3bt PoE 8ポート) マネージドイーサネットスイッチ

Moxa

シリーズ MGate 5216

2ポートシリアル/Modbus - EtherCATゲートウェイ

Moxa

シリーズ EJS-08

8ポート産業用EtherCATジャンクション

概要

半導体製造では、ハイスピードリアルタイム通信と高精度な同期が求められます。EtherCATプロトコルは、半導体装置の主流なテクノロジーになりつつあります。EtherCATは、リアルタイムパフォーマンスの向上、同期の改善、柔軟なネットワークトポロジー、そして最適な帯域幅の利用を可能にします。プラズマCVD (PECVD：プラズマ増強化学気相成長) 装置は、ウェーハ製造において重要なコンポーネントです。設置スペースに制限があり、干渉を受けやすいPECVD装置に、新しいデバイスを追加することは容易ではなく、しばしば非常に困難です。さらに、PECVD装置は、複数のセンサー、圧力計、電力制御装置を接続する必要があります。そこで、干渉に強く、高いポート密度を備えたコンパクトなEtherCATデバイスが重要な役割を果たします。

課題・ニーズ

半導体製造装置へのインストレーションが容易なコンパクト設計デバイス
高い信頼性でプロセスのダウンタイムを最小限に抑え、継続的なオペレーションを保証
既存システムへのスムーズな接続と互換性を確保する容易な統合性

Moxaのソリューション

Moxaは、EtherCATジャンクションやシリアル - EtherCATゲートウェイを含む幅広いEtherCAT製品を提供し、データ通信の遅延時間が予測可能で常に一定である確定的 (Deterministic) なEtherCAT技術でリアルタイムのウェーハ製造アプリケーションを可能にします。EJS-08シリーズ EtherCATジャンクションはコンパクトサイズなので、スペースに制限のある狭いスペースへのインストレーションに最適です。高いEMCとデュアル電源入力を備えた産業用グレード設計により、過酷な環境下でも高レベルのノイズに耐え、電力の不安定さを防止します。また、レガシーシリアルデバイスとの統合のために設計されたMGate 5216シリーズゲートウェイと組み合わせることで、柔軟なトポロジー構築や、シリアルベースネットワークのEtherCAT変換を可能にし、既存システムとの互換性を確保します。Moxaのネットワークソリューションは、エッジデバイスからデータを収集してコントロールセンターに伝送し、信頼性の高いリアルタイムの制御と監視を実現します。